技术特性：
型号：OPTIV PERFORMANCE 322/442/443/662/663/664 443DualZ/663Dual Z/664DualZ
精度 (μm)：Exy： 1.4+L/250 起 1.9+L/250 起
·灵活的光学镜头选择；电动变焦镜头、2-Step Zoom；
·多样化传感器，触发式接触测头，HP-S-X1 连续扫描测头；
·PERFORMANCE 系列机型固定桥式，移动工作台结构；
·测头更换架，TTL 同轴激光，共聚焦白光；
·三轴均为中央驱动，减小阿贝误差；
·同轴光，透射光，多段表面环形光；
·配置工业级黑白或彩色 CCD 相机；
·双 Z 轴设计 (DuaZ 机型 )；
·HA 或 UHA 高精度机型可选；
·配备 PC- DMIS VISION 软件；
·精密滚珠丝杠、直线导轨；
·白光传感器，精密转台。
